PHOENIX ENGINEERING - Mechanical Design. Electrical Design. Machine Production.

Products

製品事例

ロボットを使った搬送装置・移載装置・組立装置・検査装置が得意です。
レーザ応用技術・精密組立装置には特に自信があります。

12″対応 ウエハ移載装置 PWT2020

概要

クリーンロボットを応用したシステムです。
12″(300mm)のウエハを1枚単位で、カセット(容器)A~Bへ移載します。

仕様

対応するカセット(容器)は、FOUP・FOSB・PFAです。
1枚単位の移載が標準ですが、5枚単位 ・ 25枚単位の移載も対応可能です。御相談下さい。

レーザ加工システム PLS2020

概要

レーザで微小部品を加工(溶接・穴明)するシステムです。精密部品にリボン・ワイヤー等を溶接したり、小さな穴明加工を行ったりします。使用するレーザは、YAGレーザ・UVレーザ・ファイバーレーザ等です。マーキング加工も対応します。

仕様

レーザシステムの構築、搬送機構、部品供給等の装置設計・製作を行います。装置構想~生産管理ソフトまで一貫して受注致します。

12″対応 ウエハ自動剥離装置 PWD2020

概要

ワイヤーソー(スライス)後のウエハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、予備洗浄~ウエハ剥離~ウエハ枚葉洗浄~乾燥カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。

仕様

対応するプレート治具は、NTC製 ・ MB製 です。剥離は、熱風加熱方式で1枚ごとに行います。剥離後のウエハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄~スクラブ洗浄~リンス洗浄~吸水ローラ乾燥~スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに1枚毎に収納します。収納は、カセット(25枚入)の上段~又は下段からの選択ができます。収納カセットは、4個です。OHT搬送に対応しております。

全自動組立装置 PAM2020

概要

3軸直交系ロボット(X・Y・Z)を応用したシステムです。精密部品の自動組立を一貫して行います。部品供給は、パーツフィーダ・トレイ供給 等に対応します。

仕様

組立用の治具パレット、搬送機構、部品供給形態、組立ロボット 全て設計・製作致します。システム構想~生産管理ソフトまで一貫して受注致します。

バーコードラベル貼付装置 PBS2020

概要

上流側から供給されたワークにバーコードラベルを貼付けて下流側に排出する装置です。バーコードの印字は、サーマル印字方式、インクジェット印字方式、レーザ印字方式が対応可能です。

仕様

上流から下流へのワーク搬送は、コンベア搬送です。ワーク搬送・停止・位置決め・ラベル貼付・排出をワンサイクルで運転します。印字内容は、上位通信方式または、単独設定方式が選択可能です。