PHOENIX ENGINEERING - Mechanical Design. Electrical Design. Machine Production.

Products

製品事例

ロボットを使った搬送装置・移載装置・組立装置・検査装置が得意です。
レーザ応用技術・精密組立装置には特に自信があります。

12″対応 EFEM SYSTEM

概要

本装置は、φ300mm（12”）SEMI規格ウエハを、ステージ①〜ステージ③のキャリア内から自動的に枚葉で次工程ステージへ移載を行うシステムです。（ローダ機能）また、動作切替を行えばアンローダ機能としても使用できます。

仕様

使用するカセットは、FOUPです。FOUPは、蓋開閉機構で自動開閉します。

12″対応ウエハ移載装置 PWT2020

概要

クリーンロボットを応用したシステムです。
12″（300mm）のウエハを１枚単位で、カセット（容器）Ａ～Ｂへ移載します。

仕様

対応するカセット（容器）は、FOUP・FOSB・PFAです。
1枚単位の移載が標準ですが、5枚単位・ 25枚単位の移載も対応可能です。御相談下さい。

レーザ加工システム PLS2020

概要

レーザで微小部品を加工（溶接・穴明）するシステムです。精密部品にリボン・ワイヤー等を溶接したり、小さな穴明加工を行ったりします。使用するレーザは、ＹＡＧレーザ・ＵＶレーザ・ファイバーレーザ等です。マーキング加工も対応します。

仕様

レーザシステムの構築、搬送機構、部品供給等の装置設計・製作を行います。装置構想～生産管理ソフトまで一貫して受注致します。

12″対応ウエハ自動剥離装置 PWD2023

概要

ワイヤーソー（スライス）後のウエハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入部にセットすることで、予備洗浄～ウエハ剥離～枚葉洗浄～乾燥～カセットへの収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ部に排出されます。

仕様

対応するプレート治具は、NTC製・TOYO製・MB製です。剥離は、熱風加熱方式で１枚づつ行います。剥離後のウエハは、枚葉式で洗浄します。２流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾燥～スリットノズル乾燥を経て、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに１枚づつ収納します。収納は、カセット（25枚入）の上段～または下段～の選択ができます。収納カセットは、６個です。OHT搬送に対応しております。

全自動組立装置 PAM2020

概要

３軸直交系ロボット（Ｘ・Ｙ・Ｚ）を応用したシステムです。精密部品の自動組立を一貫して行います。部品供給は、パーツフィーダ・トレイ供給等に対応します。

仕様

組立用の治具パレット、搬送機構、部品供給形態、組立ロボット全て設計・製作致します。システム構想～生産管理ソフトまで一貫して受注致します。

バーコードラベル貼付装置 PBS2020

概要

上流側から供給されたワークにバーコードラベルを貼付けて下流側に排出する装置です。バーコードの印字は、サーマル印字方式、インクジェット印字方式、レーザ印字方式が対応可能です。

仕様

上流から下流へのワーク搬送は、コンベア搬送です。ワーク搬送・停止・位置決め・ラベル貼付・排出をワンサイクルで運転します。印字内容は、上位通信方式または、単独設定方式が選択可能です。